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顶点小说网 www.23wx.cx,回到1987年做科技大亨无错无删减全文免费阅读!

在这个地方。

    虽然芯片生产已经尝试向着第三代光源靠近。

    但量产的其实还是在第二代附近转悠。

    英特尔公司的奔腾系列和AM公司的K系列用的都是第二代光源量产的产品。

    全球的光刻机市场,实际上还是第二代光源技术在坐庄。

    说到这个时间节点的光刻机制造水平。

    以长岛国的两个品牌为主。

    而苏翰说的国产光刻机之前还处于第一代的水平。

    说完了光源问题又要说说曝光工艺的问题。

    毕竟光源和生产工艺缺一不可。

    现在的光刻机曝光工艺总共分为三种。

    第一种接近式曝光。

    第二种接触式曝光。

    第三种投影式曝光。

    接触式曝光精度很高。

    但接触式曝光需要接触晶圆片,容易造成晶圆片和掩膜版的损伤,良品率低,成本高,不适合大规模生产。

    现在几乎没人用了。

    接近式曝光,虽然不触碰晶圆片,没有损伤,良品率也高。但接近式曝光也有自己的问题,就是有光线衍射问题,光线衍射以后分辨率低。想要提高良品率,只能损失分辨率。

    生产处的芯片精度太差自然也没人用了。

    投影式曝光会在掩膜版和光刻胶之间使用透镜聚光来提高分辨率。

    所以投影式曝光工艺是眼下芯片加工的主要工艺。

    不过投影式曝光只是大方向。

    下面还有不同的加工工艺分支。

    如进步式、扫描式、离轴同轴等等……

    其实芯片制造的难点就在这些加工工艺上了。

    不同的加工工艺代表了不同的生产速度和良品率。

    生产效率自然不可同日而语。

    而国内的光刻机之前的光源技术还停留在一代的水平。

    虽然曝光工艺也是投影式,但曝光工艺落后,生产速度和效率不行。

    而苏翰说的突破,分三个层面,一个是光源上的突破,一个就是曝光工艺上的突破,还有各种生产材料上的突破。

    以前的国产光刻机是一代G光源。

    经过一年多的辛苦研发。

    终于突破到了二代I光源。

    毕竟这会的光刻机光源技术还没有未来那么变态。

    只要钱到位突破起来还是有可能的。

    制约芯片生产主要是投影式曝光的工艺流程。

    苏翰对光刻机的相关知识其实了解的并不多,但他知道很多芯片设计图纸,其实从这些图纸上他就能推算出对方的工艺顺序到底是什么。

    毕竟他是精通芯片设计的,只是不精通设备生产和制造而已。

    不过有了工艺顺序,起码有个模湖的答桉。

    虽然答桉并不能保证百分之百准确。

    但苏翰并不是要百分之百准确的答桉。

    百分之百准确不是抄袭别人了吗。

    这样容易惹起知识产权的纠纷。

    苏翰只是给光刻机生产团队一个工艺思路,剩下的就叫光刻机生产团队自己去想办法。

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